| 中国建材总院集成电路用陶瓷部件制造达国际先进水平 |
| 霍艳丽;王敬敏; |
| 关键词：关键装备;先进水平;光刻机;部件;中华人民共和国; |
| 主要内容：中国建筑材料联合会近日在北京主持召开了中国建材总院承研的"集成电路关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件制造技术"科技成果鉴定会。鉴定委员会委员一致认为这项技术填补了国内空白,成果整体达到国际先进水平。中国建材联合会科技部主任潘东晖、主任助理魏从九 |
| 《中国建材科技》 2016,25(04):8 |
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