| 中国建材总院重要科技成果展示——集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术 |
| 霍艳丽; |
| 关键词：碳化硅陶瓷;关键装备;碳化物陶瓷;光刻机;部件;高精密;中华人民共和国; |
| 主要内容："集成电路制造关键装备用高精密碳化硅陶瓷部件研制技术"是中国建筑材料科学研究总院为清华大学等单位承担的国家科技重大专项"极大规模集成电路制造与成套工艺专项"(02专项)中集成电路制造关键制造装备光刻机工件台用碳化硅陶瓷部件配套开展研制的。集 |
| 《中国建材》 2016,(12):84-86 |
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