产业集群决策
 
AIP真空测试设备研制
 
李安华;
关键词：芯片;洁净;结构
 
主要内容：介绍了一款新型实验设备,研发目的是为了测试激光视频投影芯片、激光成像雷达芯片在封装前的各项性能指标。主要介绍了设备结构、主要指标及性能参数。
 
《装备制造技术》  2017,(04):215-216+231
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