| CMOS电路中的漏电失效分析 |
| 马香柏; |
| 关键词：CMOS工艺;漏电;失效分析 |
| 主要内容：在嵌入式存储器以及Logic、Analog等CMOS工艺中,漏电失效分析技术广泛应用。这里介绍了漏电失效分析流程、CMOS电路中的漏电测试项目、漏电失效分析工具,并通过具体案例,对漏电失效分析在CMOS工艺良率提升以及新产品导入上的应用作了 |
| 《集成电路应用》 2017,34(04):53-57 |
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