| CMOS芯片结构与制程技术分析 |
| 潘桂忠; |
| 关键词：集成电路制造工艺;接口;剖面结构技术;制程的磨合 |
| 主要内容：提出通常接口与芯片剖面(或平面/剖面)结构,并依该结构得到的制程组成电路设计与芯片制造的新接口,介绍了剖面(或平面/剖面)结构技术。设计电路电气特性不仅与电路和版图结构、而且与模型参数、芯片结构参数以及制程等因素都有关。芯片制造一般都要对制 |
| 《集成电路应用》 2017,34(04):43-46 |
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