| KLA-Tencor推出全新量测系统 |
| 关键词：量测系统;KLA-Tencor;自对准;关键尺寸;几何特征; |
| 主要内容：KLA-Tencor近日针对10nm以下(sub-10nm)集成电路器件的开发和批量生产推出四款创新的量测系统:Archer~(TM)600叠对量测系统,WaferSight~(TM)PWG2图案芯片几何特征测量系统,SpectraShap |
| 《中国集成电路》 2017,26(04):79 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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