LV_HV兼容N-Well CMOS芯片与制程结构
 
潘桂忠;

关键词:集成电路制造工艺;偏置栅结构;LV/HV兼容N-Well CMOS芯片结构;制程
 
主要内容:LV/HV兼容N-Well CMOS技术,该技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容CMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区参数可以得到不同的高压。使用MO
 
《集成电路应用》  2017,34(08):51-55
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