| MSA在集成电路测试行业中的应用 |
| 谭雪;金兰; |
| 关键词：测量系统分析;测试系统误差;集成电路测试;重复性;再线性;稳定性;可靠性 |
| 主要内容：测量系统分析(简称:MSA)是使用数理统计和图表对测量系统的分辨率和误差进行分析的一种方法,以评估测量系统的分辨率和误差对于被测量的参数来说是否合适,并确定测量系统误差的主要因素。以晶圆级测试数据为例,将MSA运用到集成电路测试行业中,使用 |
| 《微处理机》 2017,38(03):13-16+21 |
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