| SEM_EDS鉴别微电子焊点中Cu_6Sn_5的影响因素及改进措施 |
| 付雪涛;裴会川; |
| 关键词：扫描电子显微镜;微电子焊接;能谱;金属间化合物 |
| 主要内容：为准确鉴定微电子焊点中的Cu_6Sn_5化合物,采用扫描电子显微镜/能谱仪(SEM/EDS),通过组分比值的测量开展Cu_6Sn_5的鉴定试验。试验发现,当SEM工作电压过低时,铜组分测量值将偏高,并且在8 kV工作电压下容易将Cu_6Sn |
| 《信息技术与标准化》 2017,(09):71-74 |
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