| 半导体集成电路可靠性测试及数据处理方法 |
| 陈耿; |
| 关键词:半导体集成电路;可靠性测试;数据处理;方法研究 |
| 主要内容:伴随着新材料与工艺技术的出现,半导体集成电力线宽逐渐减少,其集成度逐渐提高,对于集成电路可靠性要求逐渐严格。如今,集成电路生产加工突飞猛进,在一定程度上为集成电路可靠性研究奠定了基础。对此,笔者根据实践研究,就半导体集成电路可靠性测试与数据 |
| 《电子测试》 2017,(15):83+80 |
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