| 半导体晶圆厂Fab能源控制的效率分析 |
| 薛勇; |
| 关键词：集成电路制造;晶圆厂;Fab;能源控制 |
| 主要内容：在中国大陆的Fab方兴未艾的建设时,台湾半导体行业已经在环保和能耗的主题上投入了相当的研究,并开始广泛应用到实际生产。在规划建设阶段就把环保和能耗的持续开发纳入系统考量,可以帮助新建的半导体芯片厂在生产环节上提升起跑点,提高在未来产业中的竞 |
| 《集成电路应用》 2017,34(12):59-61 |
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