| 半导体芯片工艺节点演变路径分析 |
| 端点星; |
| 关键词：半导体芯片;工艺节点;尺寸缩小;纳米晶体管结构 |
| 主要内容：晶体管的缩小过程中涉及到三个问题。第一是为什么要把晶体管的尺寸缩小,以及是按照怎样的比例缩小的,这个问题是缩小有什么好处。第二是为什么技术节点的数字不能等同于晶体管的实际尺寸。或者说,在晶体管的实际尺寸并没有按比例缩小的情况下,为什么要宣称 |
| 《集成电路应用》 2017,34(10):53-60 |
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