| 超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法 |
| 诸波尔;王向朝;李思坤;孟泽江;张恒;戴凤钊;段立峰; |
| 关键词：测量;光刻;高阶波像差;空间像;主成分分析 |
| 主要内容：提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析(PCA)和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之间的线性模型,并基于该模型实现 |
| 《光学学报》 2017,37(04):178-187 |
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