| 超高纯CuMn合金材料微观组织和织构演变研究 |
| 关冲;何金江;曾浩;万小勇;李勇军; |
| 关键词：铜锰合金;溅射靶材;织构;微观组织 |
| 主要内容：当前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸已经步入纳米范围,随着特征尺寸的减小,铜互连面临着严重的可靠性问题,采用合金化手段可有效抑制晶界附近的电迁移。因而本文主要研究超高纯铜锰合金材料,通过金相(OM)、电子背散射衍射(EBSD)等分析手 |
| 《稀有金属》 2017,41(02):120-125 |
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