| 大行程平动与大角度旋转平面电机设计 |
| 陈亚英;张杰;张鸣; |
| 关键词：大行程平动与大角度旋转;圆形线圈;磁钢模块;线圈模块;实时电磁模型 |
| 主要内容：在集成电路制造领域,为实现对硅片的加工和检测,运动台需要承载硅片进行三自由度大行程运动,包括沿x、y轴的大行程平动和绕z轴的大角度旋转。针对上述运动需求,本文以圆形线圈无铁心永磁平面电机为研究对象,利用圆形线圈的旋转不变性,采用洛伦兹法则对 |
| 《微电机》 2017,50(06):1-9 |
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