| 单晶圆注入机注入角度测量与补偿系统设计 |
| 袁卫华;钟新华;彭立波; |
| 关键词：单晶圆;注入机;角度;测量;补偿 |
| 主要内容：在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于对注入离子束与晶 |
| 《电子工业专用设备》 2017,46(02):11-15 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号