| 单片异质集成技术研究现状与进展 |
| 吕伟; |
| 关键词：单片异质集成;三维集成;微系统;Ⅲ-Ⅴ族化合物;Si基CMOS |
| 主要内容：异质集成技术是微系统的核心技术,分为混合异质集成技术和单片异质集成技术。单片异质集成技术因具有较高的集成度,逐渐成为研究热点。从两个方面介绍了微系统中单片异质集成技术的研究现状和进展。在微电子器件方面,主要发展方向为Ⅲ-Ⅴ族和Si基CMOS |
| 《微电子学》 2017,47(05):701-705 |
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