| 电极中Al层对LED芯片可靠性的影响 |
| 时军朋; |
| 关键词：LED芯片;可靠性;电极结构;Al |
| 主要内容：制作了N电极为Ti/Al/Ni/Au结构的垂直LED芯片。由于电极结构中含有容易迁移的金属Al,在高电流密度下存在可靠性风险。通过改变Al层的厚度,研究了其对芯片可靠性的影响。结果表明,当Al的厚度增加时,芯片的可靠性将会改善。当厚度达到2 |
| 《电子质量》 2017,(01):33-37 |
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