| 多功能键合仪研制及在教学中的应用 |
| 王蔚;封迪;田丽; |
| 关键词：阳极键合;教学实验;键合仪;电流监测 |
| 主要内容：对硅/玻璃阳极键合进行了实验技术研究,阐述了实验设计思路;确定了实验的内容和方法,据此研制出能直观显示硅/玻璃界面键合情况以及键合电流-时间曲线的多功能键合实验仪。通过键合操作、现象观察和深入分析,使学生更加深入了解键合机理、掌握影响键合效 |
| 《实验技术与管理》 2017,34(11):35-38+90 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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