| 多物理场耦合研究电感线圈电镀铜 |
| 苏世栋;冀林仙; |
| 关键词：印制电路;电感线圈;电镀铜;多物理场耦合;象形阳极;有限元分析 |
| 主要内容：采用多物理场耦合方法构建了电感线圈电镀铜模型,通过有限元分析获得了电感线圈电镀铜过程中铜离子浓度分布、线圈表面电流密度与镀层分布状况,探讨了象形阳极与阴阳极距离对镀层厚度分布的影响。数值模拟结果表明,采用象形阳极与绝缘挡板有助于提高线圈表面 |
| 《电子元件与材料》 2017,36(10):46-52 |
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