多芯片真空共晶工装设计方法研究
 
王辉;庞婷;

关键词:共晶焊接;真空;工装夹具
 
主要内容:共晶焊接是微电子组装中的一种重要的焊接工艺。相比手动摩擦共晶,真空共晶具有无需摩擦、不易损伤芯片和可同时共晶多芯片等优势。介绍了多芯片真空共晶焊接工装夹具的设计方法,可实现芯片焊接定位精度优于±50μm。
 
《电子工艺技术》  2017,38(01):12-13+52
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