| 非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用 |
| 李美萱;王丽;董连和;赵迎; |
| 关键词：浸没式光刻;照明系统;非球面;优化控制 |
| 主要内容：NA1.35浸没式光刻照明系统是超大规模集成电路的核心设备,为了实现从Ar F激光器发出的光束经过一系列模块传输后到达掩模面的能量满足光刻曝光系统的要求,需要在系统中引入非球面透镜,以减少镜片数量,提高能量利用率。为解决现在非球面透镜具有的 |
| 《红外与激光工程》 2017,46(11):244-249 |
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