产业集群决策
 
封闭式匀胶显影设备的结构与技术优势
 
周平;刘吉东;
关键词：封闭式;匀胶显影设备;结构;技术优势
 
主要内容：封闭式匀胶显影设备在集成电路生产中应用广泛,一定程度上保证了集成电路生产质量,提高了产品生产合格率。本文分析了封闭式匀胶显影设备总体结构,研究了系统主要技术优势,以供参考。
 
《中国战略新兴产业》  2017,(04):161-162+165
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