| 光刻系统实验教学平台搭建及课程开展 |
| 王奇;刘勐;汪家奇; |
| 关键词：光刻系统平台;集成电路技术;实验设计 |
| 主要内容：目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要。介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展 |
| 《实验室科学》 2017,20(06):10-12+15 |
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