| 硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究 |
| 孟祥;周晓峰;车录锋; |
| 关键词：微机电系统技术;细胞黏附效率;阵列饱和度 |
| 主要内容：采用微机电系统(MEMS)技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片,细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过实验计算和分析得知,在0.7~23μm内,纳米线长度约为3μm时深宽比适宜,有利于黏附蛋白充分铺展,黏附效率达到 |
| 《传感器与微系统》 2017,36(03):14-16+20 |
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