| 硅片低损伤磨削砂轮及其磨削性能 |
| 王紫光;高尚;朱祥龙;董志刚;康仁科; |
| 关键词：单晶硅;软磨料砂轮;化学机械磨削;表面粗糙度;表面/亚表面损伤 |
| 主要内容：针对传统金刚石砂轮磨削硅片存在的表面/亚表面损伤问题,研制了一种用于硅片化学机械磨削加工的新型常温固化结合剂软磨料砂轮。根据化学机械磨削加工原理和单晶硅的材料特性,设计的软磨料砂轮以氧化铈为磨料,二氧化硅为添加剂,氯氧镁为结合剂。研究了软磨 |
| 《光学精密工程》 2017,25(10):2689-2696 |
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