| 混合集成薄膜电阻的误差来源分析及修正方法 |
| 王春富;秦跃利; |
| 关键词：混合集成电路;毫米波;薄膜电路;薄膜电阻;电阻误差;修正方法 |
| 主要内容：混合集成薄膜电路应用于微波毫米波等高频领域时,对集成的薄膜电阻阻值提出了很高的精度要求,现有工艺无法满足,作者通过分析薄膜电阻制造工艺过程,确定了集成薄膜电阻的误差来源,比对了电阻宽度和实际阻值之间的关系,找到了电阻误差的变化规律,并在此基 |
| 《电子元件与材料》 2017,36(11):43-46 |
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