| 基于Hough变换的高精度机器视觉对准系统的研究 |
| 魏丽;郭玉静;陆向宁; |
| 关键词：对准系统;霍夫变换;机器视觉;倒装芯片 |
| 主要内容：随着集成电路特征尺寸的不断减小,I/O引脚数日益增加。对于高密度封装,尤其是2.5D/3D封装中,电子元件和基底快速而准确的对准十分关键。利用高性能CCD搭建了一套精密的光学视觉对准系统,并采用Hough变换算法对芯片和基底进行对准试验。采 |
| 《应用光学》 2017,38(06):884-889 |
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