| 基于MS3110的微电容读出电路设计 |
| 郑雨薇;朱蕴璞; |
| 关键词：微电容读出电路;MS3110;ADS1255;AVR单片机 |
| 主要内容：电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究,了解其使用性能和参数设置方法,在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口,实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明,设计的基于 |
| 《机械制造与自动化》 2017,46(02):174-176 |
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