| 基于RFID的数字化掩模制造 |
| 张鹏;丁晗;沈天翊;胡超; |
| 关键词：掩模数字化生产;全生命周期管理 |
| 主要内容：介绍了中微掩模智能化生产系统,提出了利用RFID技术实现对掩模版制造流程的智能化管理。利用智能化生产系统提高了和客户之间的交互性,利用智能货柜系统实现了掩模版私有云制造。依托现有智能生产管理系统,提出了集成电路全产业链智能制造的概念。 |
| 《电子与封装》 2017,17(08):44-48 |
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