| 基于宏微驱动的光刻机掩模台控制系统设计 |
| 饶裕;刘杨;齐彪;李杨;王岩; |
| 关键词：光刻机;掩模台;PID;运动控制卡 |
| 主要内容：光刻是集成电路制造环节的一项重要工艺,主要通过光刻机来完成。作为其重要组成部分,掩模台的性能直接决定了能生产的芯片制程和效率,其工作特点对掩模台提出各种要求,例如:大行程、高精度等。本文采用了一种宏微结合的控制方案,即宏动部分实现大行程粗定 |
| 《自动化技术与应用》 2017,36(10):61-64 |
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