| 基于介电电泳的粒子分离微流控芯片实验 |
| 吴菲;曾一笑;樊磊;谭秋林;孙东; |
| 关键词：微流控芯片;连续分离;惯性聚焦;介电电泳;微电子机械系统(MEMS);COMSO |
| 主要内容：根据介电电泳原理,设计了一种梯形叉指的微电极结构,用于粒子的连续分离。首先利用COMSOL软件分析梯形叉指电极的电场分布,确定芯片中电场强度最大值和最小值的位置,并分析粒子在微流控芯片中的受力情况。然后,采用微电子机械系统(MEMS)工艺, |
| 《微纳电子技术》 2017,54(10):694-698+705 |
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