| 基于六标准差的PCB微影制程的改善 |
| 蒋清泉;林玉成;陈青兰;刘皓; |
| 关键词：六标准差;印制电路板;微影制程;工艺改善;全因子实验 |
| 主要内容：为改善微影制程断路缺口不良率的问题,基于六标准差品质改善方案的5大流程,以某典型印制电路板公司持续改进的微影制程为研究对象,筛选出造成微影制程不良的5个主要因子,并通过全因子实验设计进行参数最佳组合,最后设定5个主要因子对应的最佳压膜机标准 |
| 《厦门理工学院学报》 2017,25(06):22-27 |
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