| 基于人工神经网络的IC互连可靠性研究 |
| 林倩;蒋维;陈民海; |
| 关键词:人工神经网络(ANN);电迁移;建模;互连可靠性;有限元分析(FEA) |
| 主要内容:鉴于有限元分析耗时耗资源的缺点,为了加速集成电路的互连可靠性分析,提出将传统的有限元建模和人工神经网络(ANN)建模技术结合来实现IC的建模和仿真分析。采用有限元ANSYS参数化设计语言(APDL)实现IC三维模型的自动构建和原子通量散度( |
| 《半导体技术》 2017,42(07):536-543 |
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