| 基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化 |
| 成荣;王希远;朱煜;杨开明; |
| 关键词：工件台;线管组件;扰动力;结构优化 |
| 主要内容：光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性能具有重要意义。该文以工件台系统的子系统掩模 |
| 《清华大学学报(自然科学版)》 2017,57(08):798-802 |
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