| 激光微加工技术在集成电路制造中的应用 |
| 张海兵;袁文勋; |
| 关键词：激光微加工;集成电路;制造业 |
| 主要内容：伴随科学技术的不断发展,激光技术的应用也越来越纯熟。激光微加工技术以其高效率、无污染、高精度、热影响小的特点被各个领域广泛运用。本文通过对于集成电路的制造封装进行全面的分析,并且详细的介绍了激光微调、激光打孔、激光清洗、激光柔性布线以及激光 |
| 《电子技术与软件工程》 2017,(05):125 |
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