产业集群决策
 
集成电路制造工艺技术现状与发展趋势
 
周哲;付丙磊;王栋;颜秀文;高德平;王志越;
关键词：集成电路;摩尔定律;特征尺寸;制造工艺
 
主要内容：对当前集成电路制造工艺的主要挑战、研究现状进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
 
《电子工业专用设备》  2017,46(03):34-38+73
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