| 集成电路制造企业的化学品处置规则研究 |
| 林松; |
| 关键词：集成电路制造;化学品;特殊气体;处置规则;应急响应 |
| 主要内容：集成电路制造企业必须及其重视化学物品和特殊气体的处置规则。集成电路制造过程所涉及的化学品包括:指因生产、实验、研发过程所使用各类化学元素、化合物和混合物,无论其为天然的或人造的,包括气态和液态的化学品。Fab化学品审查委员会负责各厂区新化学 |
| 《集成电路应用》 2017,34(07):46-49 |
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