| 聚焦集成电路核心装备用精密碳化硅结构件 |
| 胡传奇; |
| 关键词：结构件;碳化硅;核心装备; |
| 主要内容：集成电路产业(即IC产业)是关乎国家经济、政治和国防安全的战略产业,在IC产业中,集成电路核心装备具有极其重要的战略地位。自20世纪90年代起,国家"十五""十一五""十二五"发展规划中均将光刻机等集成电路核心装备列入国家科技重大专项。在集 |
| 《中国建材》 2017,(07):116-117 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号