| 联用动态EMMI与FIB的集成电路失效分析 |
| 陈选龙;刘丽媛;黎恩良;王宏芹; |
| 关键词：动态EMMI;集成电路;失效定位;失效分析;聚焦粒子束 |
| 主要内容：EMMI被广泛应用于集成电路的失效分析和机理判定。针对端口I-V特性曲线的异常现象,采用静态电流的发光效应对漏电点进行光发射定位。静态电流法无法全面测试集成电路内部逻辑单元,需要使用动态信号驱动集成电路,使内部失效部位能够产生光发射。对样品 |
| 《微电子学》 2017,47(02):285-288+292 |
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