| 量子电容对CNT填充的屏蔽型TSV的传输性能影响研究 |
| 苏晋荣;张文梅; |
| 关键词：碳纳米管;硅通孔;量子电容;正向传输系数 |
| 主要内容：本文提出以苯并环丁烯(benzocyclobutene,BCB)或硅为介质层材料,用碳纳米管(Carbon Nanotube,CNT)填充的屏蔽型硅通孔(Shielded Through-Silicon Vias,S-TSV)结构,利用等效 |
| 《量子光学学报》 2017,23(01):67-73 |
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