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美国实现1nm制程工艺突破半导体工艺极限

美国;

关键词：电子束印刷;DOE;

主要内容：美国能源部(DOE)下属布鲁克海文国家实验室的研究人员采用电子束印刷工艺,成功制造出了尺寸仅1nm的印刷设备,创造了新的世界纪录。布鲁克海文国家实验室的研究人员摒弃了传统的光刻印刷技术,创造性地使用电子显微镜,制造

《军民两用技术与产品》 2017,(11):25

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