| 批处理式离子注入机电荷交换效应的防控 |
| 郑刚; |
| 关键词：离子注入;掺杂;电荷交换;半导体制造 |
| 主要内容：本文研究了批处理式离子注入机工艺过程中的电荷交换效应,该效应使得注入杂质浓度偏离设定值并且面内分布变差;为防控此种不良模式,可以通过收紧腔室端真空容限范围,但更为有效的方式是在注入中采用真空补偿,实验数据证明,采用优化的真空补偿系数可以在带 |
| 《电子测试》 2017,(14):41-43+34 |
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