| 浅析7nm之后的工艺制程的实现 |
| Mark LaPedus; |
| 关键词：集成电路制造;7nm;FinFET;GlobalFoundries |
| 主要内容：近来,Global Foundries宣布将会推进7 nm Fin FET工艺,引发了行业对工艺节点、光刻等技术的探讨。这是是来自Semi Engineering年的一篇报道,带领大家了解7 nm工艺及以后的半导体业界的发展方向。 |
| 《集成电路应用》 2017,34(01):50-53 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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