| 全耗尽绝缘硅FD-SOI工艺技术的特点分析 |
| 孔文; |
| 关键词：集成电路制造;全耗尽绝缘硅;RF-SOI |
| 主要内容：在先进的IC制造工艺方面,由Intel主导的Fin FET一直大行其道。而最近这几年,SOI,包括FD-SOI和RF-SOI越来越受到人们的关注,特别是随着物联网和5G时代的到来,其技术优势和应用前景也越发地被看好。在应用层面,总的来说,F |
| 《集成电路应用》 2017,34(11):38-41 |
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