| 三氟化氮——一种性能优良的覆铜板气体蚀刻剂 |
| 刘镇权;吴培常;邬通芳; |
| 关键词：蚀刻剂;三氟化氮;蚀刻因子 |
| 主要内容：文章对三氟化氮气体蚀刻剂的性能进行了分析和评估,得出的结论是NF_3气体蚀刻剂具有蚀刻快、蚀刻因子大、无环境污染、回收容易和成本低廉等优点。尽管还存在一些不足之处,但可以通过调整蚀刻参数加以优化,它不失为一种值得推广的覆铜板铜箔蚀刻剂。 |
| 《印制电路信息》 2017,25(07):10-12+42 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号