| 三明治式介电泳细胞富集芯片的优化设计与实现 |
| 樊磊;曾一笑;吴菲;白国花;谭秋林;孙东; |
| 关键词：叉指电极;三明治式芯片;电场仿真;微机电系统(MEMS);介电泳 |
| 主要内容：以优化芯片结构、提高细胞富集效率为目的,基于常见的二维叉指电极,设计了三明治式叉指微流控芯片结构;使用COMSOL软件仿真对比了二维与三明治式芯片内部的电场强度和介电泳力,从而优化了三明治式芯片的尺寸;通过微机电系统(MEMS)工艺制作三明 |
| 《微纳电子技术》 2017,54(03):162-167 |
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