| 石墨烯-硅基混合光子集成电路 |
| 肖廷辉;于洋;李志远; |
| 关键词：硅基光子学;石墨烯光子学;集成光子学 |
| 主要内容：近年来硅基光子学已经慢慢走向成熟,它被认为是未来取代电子集成电路,实现下一代更高性能的光子集成电路的关键技术.这得益于硅基光子器件与现代的互补金属氧化物半导体工艺相兼容,能够实现廉价的大规模集成.然而,由于受硅材料本身的光电特性所限,在硅基 |
| 《物理学报》 2017,66(21):164-175 |
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