| 石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究 |
| 林日乐;李文蕴;谢佳维;满欣; |
| 关键词：石英微机械;陀螺;敏感芯片;结构解耦 |
| 主要内容：石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提高了陀螺敏感芯片的稳 |
| 《压电与声光》 2017,39(03):321-323 |
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