| 探针卡在芯片产业化中的应用分析 |
| 杨跃胜;武岳山; |
| 关键词：探针;探针测试卡;芯片测试;wafer |
| 主要内容：芯片产业化过程中,涉及到大量探针卡的应用,探针卡对芯片测试非常重要;根据不同的标准对探针及探针卡进行分类;针对不同应用环境,分析了探针卡的选取方法;最后给出了探针卡的存放和使用相关规范,对探针卡的设计、加工及芯片的中测测试应用具有一定的参考 |
| 《中国集成电路》 2017,26(04):58-61+75 |
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